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磷烷

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化学式:PH3


CAS登录号:7803-51-2


分子量:34.04


外观:无色气体,有蒜臭味


毒性:剧毒


腐蚀性:无腐蚀


纯度:≥99.9999%


磷烷购置认准k8凯发化工,四川磷烷供应商直销,磷烷价格优质。


其他种种纯度、钢瓶包装均有售卖,可凭据客户的要求配置。


欢迎致电联系客服咨询详情!


咨询热线:028-84791130

产品详情


磷烷气体具体参数及需求可联系客服人员咨询,028-84791130!






我公司配有高精检测设备,确保产品的质量。




作用
在电子气家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大,是IC制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源,同时 磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P质料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。
PH3 ,易燃、易爆、剧毒,其毒性 数为:PEL/TLV 0.3ppm, STEL 1ppm,LC50 20ppm,IDLH 200ppm,属剧毒:ζ。

应急处理处置
一、泄漏应急处理
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并立即隔离450米,严格限制收支。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。喷雾状水稀释、溶解。构筑围堤或挖坑收容发生的大量废水。如有可能,将漏出气用排风机送至空旷的地方或装设适当喷头烧掉。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。
二、防护措施
呼吸系统防护:正常事情情况下,佩带过滤式防毒面具(全面罩)。高浓度情况中,必须佩戴空气呼吸器或氧气呼吸器。紧急事态抢救或撤离时,建议佩戴空气呼吸器。
眼睛防护:戴化学安全防护眼镜。
身体防护:穿面罩式胶布防毒衣。
手防护:戴橡胶手套。
其它:事情现场严禁吸烟、进食和饮水。事情毕,淋浴易服。保持良好的卫生习惯。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业,须有人监护。
三、抢救措施
吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。
灭火要领:消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身防火防毒服,在上风处灭火。切气绝源。若不能立即切气绝源,则不允许熄灭正在燃烧的气体。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂:雾状水、泡沫、干粉、二氧化碳。


磷烷购置找成都k8凯发化工,恒久供应电子级磷烷,量足品优,磷烷供应商直销,种种巨细钢瓶包装均在供应,磷烷价格优惠,现货速发,可全国配送。欢迎致电详细咨询:028-84791130!





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毒性:剧毒


腐蚀性:无腐蚀


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PH3 ,易燃、易爆、剧毒,其毒性 数为:PEL/TLV 0.3ppm, STEL 1ppm,LC50 20ppm,IDLH 200ppm,属剧毒:ζ。

应急处理处置
一、泄漏应急处理
迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并立即隔离450米,严格限制收支。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿防毒服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。喷雾状水稀释、溶解。构筑围堤或挖坑收容发生的大量废水。如有可能,将漏出气用排风机送至空旷的地方或装设适当喷头烧掉。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。
二、防护措施
呼吸系统防护:正常事情情况下,佩带过滤式防毒面具(全面罩)。高浓度情况中,必须佩戴空气呼吸器或氧气呼吸器。紧急事态抢救或撤离时,建议佩戴空气呼吸器。
眼睛防护:戴化学安全防护眼镜。
身体防护:穿面罩式胶布防毒衣。
手防护:戴橡胶手套。
其它:事情现场严禁吸烟、进食和饮水。事情毕,淋浴易服。保持良好的卫生习惯。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业,须有人监护。
三、抢救措施
吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。
灭火要领:消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身防火防毒服,在上风处灭火。切气绝源。若不能立即切气绝源,则不允许熄灭正在燃烧的气体。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂:雾状水、泡沫、干粉、二氧化碳。


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